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微结构光学是指以微、纳米尺度结构对光波参量进行操控的研究方向;中科院光电所微结构光学研究团队以发展微纳结构光学设计、微纳结构核心光学元件制备工艺及集成化新型光学系统为宗旨。在国家、总装重大工程及国民经济需求的牵引下,已经形成了全套的、系统的微纳结构设计与制备工艺体系。
2006年,董小春博士在国际上提出了全新的“掩模移动滤波”微结构成形技术,攻克了“任意排列、非球面面形”微透镜阵列的成形难题(APPLIED PHYSICS LETTERS 89, 261105 2006及董小春博士学位论文),形成了规则/非规则排布、高填充因子、无正交性误差的微结构(包括位相片、微透镜)成形工艺; 在此基础上,研究团队通过校正光刻与刻蚀工艺过程中的非线性误差,实现了微结构光学元件面形的准确控制。实现了低像差、成像级微光学结构制备。
2015年,研究团队针对“掩模移动滤波技术”进行再次改进,通过对掩模进行二维编码调控,建立了全新的“二维移动滤波技术”。该技术在保留“掩模移动滤波技术”所有优点的基础上,使移动滤波掩模的灰度等级提升了近10倍,实现了无散斑、低旁瓣、高能量利用率微透镜阵列的准确成形。
经过不断的发展,研究团队建立了具有自主知识产权、集微光学器件设计、加工制作、检测全过程的微结构光学平台。研究团队是国内能够实现非球面面形、非规则排布微透镜阵列制备的研究队伍,目前与“成都印钞造币厂”、“中钞长城贵金属有限公司”“成都科奥达光电技术有限公司”、“绵阳绽放科技”、“深圳国宝金币有限公司”“深圳拉姆达防伪技术有限公司”等单位建立合作关系,相关产品已经在自适应光学、CCD增强耦合、ICF光学系统像差校正等领域得到了广泛应用。课题组将继续本着“技术开拓、服务大众”的原则,为国内外用户提供精密的、可靠的、快速的产品与服务,欢迎相关企业及科研院所来电咨询,合作研究。