微透镜阵列元件种类
1.1二元微透镜阵列元件
二元微透镜阵列指的是利用台阶状的面形结构来趋近于连续浮雕结构的微透镜阵列。该元件利用二元掩模通过多次套刻完成多个台阶结构的制备，可制备结构指标参数如下：
波段范围: 0.248μm ~10μm； 子口径形状：圆形、矩形、正六边形、环形等；
子透镜口径：0.01mm~4mm； 透镜材料：石英、硅、锗、硒化锌等；
典型台阶数：2、4、8、16； 衍射效率： 75%~95%。
本单位现有的二元微透镜阵列列表如下，列表中的透镜可在3周内供货。其余规格的接受订制，制作周期约1-2个月。
波长（μm） | 子口径（μm） | 口子径形状 | 焦距（mm） | 列阵数 | 基片尺寸(mm) |
1.064 | 275×275 | 四边形 | 8 | 30×30 | φ14×3 |
1.064 | 1000×1000 | 四边形 | 30 | 16×16 | φ30×5 |
0.55 | 1680（平行对边） | 六边形 | 29.7 | 37×37 | φ14×3 |
0.5 | 1680（平行对边） | 六边形 | 69.8 | 7×9 | φ20×3 |
1.064 | 1750×1750 | 正方形 | 90 | 6×6 | φ20×3 |
1.2连续面形微透镜阵列元件
本单位采用独特的成形及面形控制技术，实现无衍射色差，适用于宽波段系统成像和聚焦的高精度连续表面微透镜阵列。
数值孔径：0.01~0.5； 透镜面形：球面、抛物面、双曲面等；
面形误差：<3%； 子透镜口径：5μm~4mm； 填充因子：> 98%；
子孔径形状：四边形、六边形、圆形、矩形等；
透镜材料：石英、硅、锗、硒化锌、K9、氟化钙、PMMA、PC等
1.2.1柱透镜列阵列元件
可以研制任意面形分布（如非球面）的微柱透镜列阵，结构周期20μm~5mm，应用于光聚焦、整形等领域。下图所示为本单位研制的特殊面形的柱镜结构，面形精确控制在50nm，表面粗糙度小于10nm。
1.2.2 四边形微透镜阵列元件
四边形微透镜是指口径形状为四边形或者按照四边形排布的透镜。本单位可以定制口径范围在5μm~5mm之间的四边形微透镜阵列。
现有四边形微透镜阵列表如下，可在1～2周内供货。其余规格的接受订制，制作周期约1-2个月。
子口径（μm） | 子口径形状 | 列阵数 | 可订制焦距范围（mm） | 基片尺寸(mm) |
20×20 | 正方形 | 2000×2000 | 0.1-1 | 可订制 |
100×100 | 正方形 | 400×400 | 0.6-20 | 可订制 |
150×150 | 正方形 | 300×300 | 1-60 | 可订制 |
180×180 | 正方形 | 64×64 | 1.8-90 | φ20×3 |
200×200 | 正方形 | 42×42 | 2-100 | φ14×3 |
300×300 | 正方形 | 150×150 | 5-240 | 可订制 |
400×400 | 正方形 | 21×21 | 9-440 | φ14×3 |
500×500 | 正方形 | 80×80 | 14-680 | 可订制 |
545×545 | 正方形 | 26×26 | 17-810 | φ25×3 |
600×600 | 正方形 | 34×34 | 20-980 | φ30×5 |
680×680 | 正方形 | 24×24 | 25-1260 | φ25×3 |
700×700 | 正方形 | 65×65 | 27-1340 | 可订制 |
720×720 | 正方形 | 30×30 | 28.5-1400 | φ45×5 |
800×800 | 正方形 | 10×10 | 35-1750 | φ20×3 |
850×850 | 正方形 | 18×18 | 40-1970 | φ20×3 |
1000×1000 | 正方形 | 25×25 | 55-2730 | φ40×5 |
1200×1200 | 正方形 | 9×9 | 80-3940 | φ20×3 |
1380×1380 | 正方形 | 30×30 | 105-5200 | φ60×6 |
1440×1440 | 正方形 | 26×26 | 115-5670 | φ60×6 |
3300×3300 | 正方形 | 5×5 | 600-29780 | φ25×3 |
1.2.3六边形微透镜阵列元件
六边形微透镜阵类指的是口径形状为六边形或者按照六边形排布的微透镜阵列。可定制口径大小在50um~5mm（透镜中心间距）之间的六边形微透镜阵列。
现有六边形微透镜列阵列表如下，可在1～2周内供货。其余规格接受订制，制作周期约1-2个月。
子口径（μm） | 子口径形状 | 列阵数 | 可订制焦距范围（mm） | 基片尺寸(mm) |
207（平行对边） | 六边形 | 13×13 | 1.2-88 | φ14×3 |
259（平行对边） | 六边形 | 77 | 2.5-183 | φ14×3 |
300（中心间距） | 圆形（六边形排布） | ≥100×100 | 3.2-246 | 可订制 |
336（平行对边） | 六边形 | 17×17 | 4-308 | φ14×3 |
480（平行对边） | 六边形 | 17×19 | 8.4-630 | φ14×3 |
1120（平行对边） | 六边形 | 13×13 | 46-3430 | φ25×3 |
1360（平行对边） | 六边形 | 187 | 68-5000 | φ25×3 |
1.2.4任意排布任意面形微透镜阵列元件
可以按照客户的特殊需求订制任意面形任意排布的微透镜阵列。以下为本单位所制备的离轴型微透镜阵列的形貌图以及焦斑图。
