微透镜的波段范围覆盖190nm~10600nm的范围，匹配各种常用激光器的波长。每个微小透镜/子单元的尺寸最小可以做到1um，通常在1~5000um，形状可以为圆形、正方形、长方形、六边形或其它用户指定的形状。我们可以通过套刻刻蚀的工艺完成多台阶结构的制作，目前2台阶、4台阶、8台阶、16台阶和32台阶的工艺都已经非常成熟，衍射效率*可以做到95%。对于连续面型结构，我们可以做到数值孔径：0.01~0.5，面形误差：<2%。