衍射光学元件是光刻机中的一系列可挪动镜片，关键用以造成光刻需要的灯源。光刻机的灯源约为4000镜片。

衍射光学元件的特点：

       衍射光学元件的特点是它能够在维持高衍射效率的另外，确立地上手光抗压强度遍布。因而，衍射光学元件变成离轴照明灯具的理想化部件。一般用以光刻系统软件衍射光学元件的离轴照明灯具，子模块的总数必须低于10个，设计方案信息量很大，而且单元尺寸做到μm乃亚微米的量级。

       光线沿直线传播。当光线穿过小圆孔或穿过轮廊明晰的边沿时，顺着小圆孔的边沿会造成干预样图。結果是图象模糊不清，而不是预估在光和黑影中间发生的图象。边沿清楚，光线好像顺着间隙的边沿弯折。这类状况称之为衍射。

衍射效率：

       衍射效率是评定衍射光学元件和包括衍射光学元件的映射-衍射混和光学系统的关键指标值。在光根据衍射光学元件以后，造成好几个衍射级。一般，仅关心主衍射级的光，而别的衍射级的光在主衍射级的像表面产生杂散光眼，进而减少了像面的饱和度。因而，衍射光学元件的衍射效率立即危害衍射光学元件的显像品质，必须准确地测量衍射光学元件的衍射效率。

补水面膜的衍射：

       光的衍射与光刻技术性息息相关，由于投射掩膜具备小的清楚图案设计和狭小的间隔。在曝出期内，光一定要穿过这种图案设计，衍射图案设计会带去曝出的能量，并使光散发，进而造成 光致抗蚀剂的未曝出地区曝出。当孔钟头，比如触碰孔小到200nm时，这个问题更为比较严重。衍射造成的干预样图会使小触碰孔和小线无法光刻。