微透镜阵列元件可分为折射型微透镜阵列与衍射型微透镜阵列两类。衍射微透镜列阵利用其表面波长量级的三维浮雕结构对光波进行调制、变换，具有轻而薄、设计灵活等特点。作为功能元件，在波前传感、光聚能、光整形等多种系统可得到广泛应用。

　　微透镜阵列元件将一个完整的激光波前在空间上分成许多微小的部分, 每一部分都被相应的小透镜聚焦在焦平面上, 一系列微透镜就可以得到由一系列焦点组成的平面。如果激光波前为理想的平面波前, 那么在微透镜阵列焦平面上就可以得到一组均匀而且规则的焦点分布;然而实际的激光波前并不是理想的平面波前, 它们或多或少地带有一些畸变, 用微透镜阵列聚焦后, 焦点不再是均匀分布, 而是与理想的焦点发生了位移。

　　多种选项

　　微透镜阵列元件有 8 种焦距，从 4.8mm 到 32.8mm 不等。根据所选的焦距和节距(透镜内间隔)，发散角可以在 ±0.25°和 ±2°之间。

　　使用光刻制造

　　这些微透镜阵列元件使用基于半导体处理技术的光刻技术制造。微透镜阵列可产生特别精确的透镜轮廓和精确的透镜定位。