分辨率板特性

　　USAF 1951和NBS 1963A正负分辨率测试靶

　　NBS 1952正分辨率测试靶

　　扇形星测试靶

　　可变线性光栅测试靶

　　分辨率和畸变组合测试靶

　　分辨率测试靶通常用来测量一个成像系统的分辨率。它们包含一些参考线图样，其线宽和间隔都经过精心设计，放置在和待成像物体相同的平面上。通过识别不可分辨的参考线，就可以确定给定系统的分辨能力。Thorlabs提供带1951 USAF、NBS 1952和NBS 1963A图案的分辨率测试靶，以及扇形星(也叫西门子星)图案的测试靶、可变线性光栅测试靶或用来测试分辨率和畸变的组合图案测试靶。有关每种图案的更多信息，请见分辨率测试靶标签。

　　我们的很多分辨率测试靶中都可选择正极和负极图案。正极靶由低反射率、在透明基底上真空溅射铬图案板构成，用于前方照明和一般应用。负极靶一样是在基底上镀铬膜，留下清晰图案，适用于背光照明和高亮度照明应用。每个图案都通过光刻制造，使得边缘特征分辨率可达约1 µm。

　　安装

　　这些分辨率测试靶可以安装在显微镜的一个载玻片固定架(有四个)中。我们的MAX3SLH载波片固定架有两个弹簧片，既可以固定光学元件，也可以用于安装在我们的3轴移动平台上。MAX3SLH仅兼容宽度大于或等于2英寸的测试靶，且通光孔径为1英寸，有可能遮住某些测试靶上的铬图案。Thorlabs也提供XYF1(/M)测试靶安装座(请看右图)，可以将宽度为1英寸到3英寸的矩形靶在50 mm x 30 mm的区域内移动。安装座后面的转接件具有五个8-32(M4)螺孔，可在六个方向上安装接杆。XYF1使用尼龙顶丝来固定光学元件。请注意，安装座的支持臂会将光学元件两端都遮住大概4.4 mm。对于使用MLS203显微镜位移台的用户，我们提供用于倒置显微镜的MLS203P2载玻片安装架，用于安装25 mm至26.5 mm宽的载波片，也可以放置直径从30 mm到60 mm的培养皿。

　　光刻测试靶生产

　　我们的大批量生产能力可以给成像系统校正和测量提供解决方案。我们通过掩模光刻机，采用接触式光刻技术在玻璃基底上确定图样。图案设定好之后，我们在100级洁净室中化学刻蚀基底，并进行清洁。

　　双折射测试靶生产

　　R2L2S1B双折射分辨率测试靶上的图案必须通过一对正交的偏振片才能看到，非常适合校准对偏振敏感的系统。它通过光配向技术设定液晶聚合物层的快轴而制成，液晶聚合物层由两块N-BK7玻璃层保护。通过工程加工使测试靶快轴平行于玻璃层的边，而图案区域的快轴与边成45度角。整个测试靶的延迟量为280 ± 20 nm。此外，通过改变正交偏振片的方向测试靶可以呈现正负图案。如果正交偏振片对准玻璃层的边，则呈现正图案。如果和玻璃层的边成45角，则呈现负图案。

　　Thorlabs还提供一系列分划板，可以在待成像物体上叠加一个参考图样。