衍射光学元件批量化制备新方法

　　光电所获取大角度衍射光学元件批量化制备新方法

　　中国科学院光电技术研究所微电子装备总体研究室微光学组在大角度衍射光学元件批量化制备方法研究中取得新进展：提出了一种基于纳米压印技术的大角度衍射光学元件批量化低成本制备新方法。由于纳米压印模板可以多次重复使用，平均成本降低，能够实现从微米到纳米跨尺度兼容的衍射光学元件的低成本、批量化制备。相关结果发表于近期的Acta Photonica Sinica。

衍射光学元件

　　衍射光学元件由于体积小、设计灵活、衍射效率高等优点，被广泛应用于光学传感、光通讯、光计算、医学、数据存储和消费娱乐等领域。目前在一些前沿性的研究领域，如激光雷达中的广角三维地形地貌探测、三维测量等，迫切需要具有大角度（大于50°）的衍射光学元件。现有的加工衍射光学元件的技术有很多种，但成本高、加工周期长，难以实现批量化生产。因此，研究衍射光学元件的低成本、批量化制备方法具有重要意义。

　　该研究将纳米压印技术应用于衍射元件的加工当中，压印母板在无损伤的前提下可以无限次重复使用，即一块压印模板可以在短时间内压印制备出多个衍射元件，大大降低了制备成本，提高了生产效率。基于纳米压印技术的高精度、高分辨率、低成本、高产量等优点，以及改进的脱模防粘、对准压印技术，实现了大角度、高深宽比衍射光学元件高保真、低成本、批量化制作的目的。

　　该工作得到了国家自然科学基金的支持。