衍射光学可调滤波器的历史发展

衍射光学元件声光可调滤波器的历史发展

七十年代末，八十年代初集成光学型滤波器，以其功耗小的优点，逐渐引起人们的重视。集成光学型滤波器利用声表面波（SAW），而不是体声波；利用行波声波代替集总声波，提高了声光相互作用效率，大大减少了驱动功率，从典型值1瓦降到毫瓦量级（较低8mW），为多通道（如100路）光学集成提供了可能，同时减小了光路的复杂性，使许多光路集成在一个基片上。

为了提高集成AOTF的性能，人们提出了各种AOTF的方案。声光可调谐滤波器的一个特点使能叠加许多独立的声波，使之同时作用于波导中进行波长选择，从而在WDM中发挥巨大作用。但要解决的问题之一是如何获得低的驱动功率。目前常采用的方法是：用声表面波、晓得光波导、声表面波束的压缩与限制（如采用聚焦叉指换能器，多条耦合声波导等）等方法以达到mW量级的能量。1991年Bellcore的David A.Smith和John J.Johnson利用小型叉指换能器吧声波传输限制在几个声波波长宽的声波导中来提高作用效率，在1550nm附近用8mW的RF即可获得近100%的TE-TM转换，滤波线宽为1.8nm，此时滤波器具有10%的测瓣。

新特光电所代理的声光可调滤波器(AOTF)用于快速和动态地从宽带或多线激光源中选择特定波长。当施加射频频率变化时，传输的波长就会改变，在数十微秒或更短的情况下调整光束或图像的波长。AOTFs适用于紫外到中红外，带宽分辨率不超过1nm。我们还提供大孔径成像滤波和边带抑制等选项。另可按要求提供光纤耦合的AOTF设备。

Gooch & Housego 公司生产的声光可调谐滤波器产品种类多，覆盖波长范围从紫外到中红外波段。产品具有通光孔径大、频率范围宽、射频驱动功率低和衍射效率高等优点。

衍射位相元件

四川久光科技有限公司专注于衍射光学元件、微透镜阵列元件、DOE元件等微结构光学的研发与生产，公司正式成立于2015年，现有专业科研成员20余名，公司位于成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中区(西航港科技企业孵化中心)。

      微结构光学是指以微、纳米尺度结构对光波参量进行操控的研究方向；中科院光电所微结构光学研究团队以发展微纳结构光学设计、微纳结构核心光学元件制备工艺及集成化新型光学系统为宗旨。在国家、总装重大工程及国民经济需求的牵引下，已经形成了全套的、系统的微纳结构设计与制备工艺体系。

      2006年，董小春博士在国际上提出了全新的“掩模移动滤波”微结构成形技术，攻克了“任意排列、非球面面形”微透镜阵列的成形难题（APPLIED PHYSICS LETTERS 89, 261105 2006及董小春博士学位论文），形成了规则/非规则排布、高填充因子、无正交性误差的微结构（包括位相片、微透镜）成形工艺； 在此基础上，研究团队通过校正光刻与刻蚀工艺过程中的非线性误差，实现了微结构光学元件面形的准确控制。实现了低像差、成像级微光学结构制备。