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[公司新闻] 衍射光学元件的特点
衍射光学元件(DiffractiveOpticalElements,DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。衍射光学元件的特点DOE的特点则是能够在保持较高衍发布时间：2019-12-20 点击次数：492
